针对传统CSAMT三维正演场源奇异性及无穷边界处理等问题,提出了一种基于等效场源的CSAMT三维无限元快速高精度正演模拟算法。首先,通过精确计算场源附近一定范围内网格节点的电磁场,实现水平电偶极源的精确模拟;然后,采用无限元代替传统截断边界条件,通过有限元-无限元耦合法和并行直接求解方法,实现基于等效场源的CSAMT三维快速精确求解。均匀半空间模型测试结果验证了算法的正确性。同时,以趋肤深度公式为基础,开展了场源等效模拟的最佳范围研究,数值结果表明对于场源的等效加载范围最好不低于1.5倍趋肤深度。